高純石墨在半導體晶體生長及后續外延、離子注入等工序中均有應用。

? 半導體晶體生長中使用更高純度的石墨及保溫材料，來保證晶體的純度，必要時會選擇特殊涂層石墨制品。

? 半導體外延工藝中，采用精密加工的石墨基座來承載晶片，必要時石墨基座需采用特殊涂層來增強其抗腐蝕性能。